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我想到两个，一个是用红外列阵的方式加热，可以提升温度均匀性，继而补偿沉积均匀性，另一个是气阀高频开关，亦可避免连续气流造成的涡旋，碳化硅功率器件应该很容易做到。”
老师可是力学大师，尤其对气体力学和热力学，都是开山鼻祖的级别。
老人家没有顺着翟达的思路思考，而是直接提出了几个全新的角度。
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